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A CAD System for Developing Chemical Sensor-Based Microsystems with an ISFET-CMOS Compatible Technology
1999-01-01 S., Martinoia; Lorenzelli, Leandro; G., Massobrio; Margesin, Benno; Lui, Alberto
Application of Dual Doped TMAH Silicon Etchant in the Fabrication of a Micromachined Aluminium Flexing Beam Actuator
2002-01-01 J., Garra; Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; M., Paranjape
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
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A CAD System for Developing Chemical Sensor-Based Microsystems with an ISFET-CMOS Compatible Technology | 1-gen-1999 | S., Martinoia; Lorenzelli, Leandro; G., Massobrio; Margesin, Benno; Lui, Alberto | |
Application of Dual Doped TMAH Silicon Etchant in the Fabrication of a Micromachined Aluminium Flexing Beam Actuator | 1-gen-2002 | J., Garra; Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; M., Paranjape |
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